服務項目| 產(chǎn)品中心 | 應用案例
一、亂流式潔凈室
亂流式,即空氣由空調風柜經(jīng)風管與潔凈室內(nèi)的高效空氣過濾器進入潔凈室,并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風循環(huán)。氣流組織不是直線型運動,而呈不規(guī)則的亂流或渦流狀態(tài)。此類氣流組織適用于潔凈度等級1,000-100,000級的實驗室。
其優(yōu)點是:構造簡單、系統(tǒng)建造成本,潔凈室的擴充比較容易,在某些特殊用途場所,通過室內(nèi)的超凈工作臺,提高潔凈室工作操作場所潔凈等級。缺點:亂流造成的微塵粒子在室內(nèi)空間飄浮,不易排出,易污染生產(chǎn)中的產(chǎn)品。另外,若系統(tǒng)停止運轉再重新啟動,恢復到需求的潔凈度,往往須耗時一段自凈時間。
二、層流式潔凈室
層流式,即空氣氣流運動成一均勻的直線形,空氣由覆蓋率100%的高效過濾器進入室內(nèi),并由高架地板或兩側隔墻板回風,此類氣流組織適用于潔凈室等級較高的凈化環(huán)境使用,一般應用潔凈度等級為Class1-100。
再細分,層流式分為二種:1、水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁的回風系統(tǒng)回風,塵埃隨風向排出室外,一般在下流側污染較嚴重。優(yōu)點:構造簡單,運轉后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。缺點:建造費用比亂流式高,室內(nèi)空間不易擴充。
2、垂直層流式:房間天花板完全以超高效過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可獲得較高的潔凈度,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵??煽焖倥懦鍪彝?/span>,而不會影響其它工作區(qū)域。優(yōu)點:管理容易,運轉開始短時間內(nèi)即可達穩(wěn)定狀態(tài),不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。缺點:構造費用較高,彈性運用空間困難,天花板的吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。
3、復合式:復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈的空氣。包括以下三種形式的復合氣流潔凈空間:
①潔凈隧道:以HEPA或ULPA過濾器將工作區(qū)域100%覆蓋,使該區(qū)域內(nèi)的潔凈度等級提高至10級以上,可節(jié)省安裝運轉費用。此形式需將作業(yè)人員的工作區(qū)與產(chǎn)品機器維修區(qū)予以物理隔離,以避免機器維修時影響了生產(chǎn)工作及品質,潔凈隧道另有二項優(yōu)點:彈性擴充容易;維修設備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
②潔凈管道:將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并進行空氣凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量的送風即可得到良好的潔凈度,可節(jié)省能源,不需人工的自動化生產(chǎn)線為最適宜使用,藥品、食品及半導體微電子制造業(yè)均適用。
③并裝局部潔凈室:將潔凈室等級10,000~100,000的亂流潔凈室內(nèi)局部產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上,作為生產(chǎn)用途;例如潔凈工作臺、潔凈工作棚即屬此類。