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潔凈室室內(nèi)靜壓差的測試程序
1、準備程序
儀器設(shè)備及環(huán)境測量儀器,可以選擇微壓計、數(shù)字微壓計等,在環(huán)境溫度常溫或潔凈室設(shè)計溫度下進行壓差檢測。
2、靜壓差檢測區(qū)域
抽樣對有設(shè)計要求的各個相鄰區(qū)域,不同等級潔凈區(qū)或潔凈區(qū)與非潔凈區(qū),實施檢測。
3、靜壓差檢測結(jié)果規(guī)定
(1)一般情況下,相鄰不同級別潔凈室之間、潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應不小于5Pa。
(2)潔凈室室內(nèi)與室外大氣的靜壓差應大于10Pa。
(3)潔凈度高于100級的單向流層流潔凈室,在開門狀態(tài)下在出入口處室內(nèi)側(cè)0.6m處,不應測出超過室內(nèi)級別上限的濃度。
4、操作程序及判定
(1)將所有的門關(guān)閉,將測定用膠管口徑最好在5mm以下,從墻壁上的孔洞伸入室內(nèi)離壁面不遠處,垂直于氣流方向設(shè)置周圍無阻擋氣流擾動最小。
(2)靜壓差的測定,應從平面上最里面的房間,通常也就是潔凈度級別最高的房間,與其緊鄰的房間之間的壓差測起,依次向外測定,直至測得最靠外的潔凈室與周圍附屬環(huán)境之間、與室外環(huán)境之間的壓差。
(3)對于潔凈度高于100級的單向流層流潔凈室,還應測定在門開啟狀態(tài)下離門口0.6m處的室內(nèi)側(cè)工作面高度的粒子數(shù)。
5、檢測時的注意事項
在進行潔凈室靜壓差檢測之前,必須先驗證在潔凈室或潔凈設(shè)施正常工作時,應該關(guān)閉的門全部關(guān)閉條件下,潔凈室室內(nèi)送風量與回風量、排風量是否與規(guī)定設(shè)計風量相符。若達不到標準的要求,則重新調(diào)整新風量、排風量直至符合設(shè)計要求為止。